無菌室車間的溫濕度主要是依據技術請求來斷定，但在滿意技術請求的條件下，應考慮到人的舒適度感。跟著空氣潔凈度請求的進步，出現了技術對溫濕度的請求也越來越嚴的趨勢。詳細技術對溫度的請求今后還要羅列，但作為總的準則看，因為加工精度越來越精密，所以對溫度動搖規(guī)模的請求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路出產的光刻曝光技術中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱脹大系數的差請求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就導致了0.24um線性脹大，所以必須有±0.1度的恒溫，一起請求濕度值通常較低，因為人出汗今后，對商品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超越25度。濕度過高產生的疑問更多。相對濕度超越55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發(fā)生在精密設備或電路中，就會導致各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將經過空氣中的水分子把硅片外表粘著的灰塵化學吸附在外表耐難以鏟除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又因為靜電力的效果使粒子也簡單吸附于外表，一起很多半導體器材簡單發(fā)生擊穿。關于硅片出產溫度規(guī)模為35—45%。
關于大部分無菌室車間，為了避免外界污染侵入，需求堅持內部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的保持通常應契合以下準則：
1．無菌室車間的壓力要高于非無菌室車間的壓力。
2.潔凈度等級高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度等級低的空間的壓力。壓力差的保持依托新風量，這個新風量要能抵償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理含義即是漏泄（或浸透）風量經過潔凈室的各種縫隙時的阻力。潔凈室中的氣流速度規(guī)則這兒要評論的氣流速度是指潔凈室內的氣流速度，在其他無菌室車間中的氣流速度在評論詳細設備時再闡明。關于亂流潔凈室因為主主要靠空氣的稀釋效果來減輕室內污染的程度，所以主要用換氣次數這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室內氣流速度也有如下請求；
(1)送風口出口氣流速度不宜太大，和單純空調房間比較，請求速度衰減更快，分散視點更大。
(2)吹過水平面的氣流速度（例如側送時回流速度）不宜太大，避免吹起外表微粒重返氣流，而形成再污染，這一速度通常不宜大干0.2m/s。
關于平行流潔凈室《習慣上稱層流潔凈室），因為主要靠氣流的“活塞打揉捏效果掃除行染，所以截面上的速度即是非常重要的目標。曩昔都參考美國20gB標準，選用0.45m/s．但大家也都了解到這樣大速度所需求的通風量是極大的，為了節(jié)能，也都在根究降低速一風速的可行性。在中國，《空氣潔凈技術措施》和(潔凈廠房設計規(guī)范）都是這樣規(guī)則的筆直平行流（層流）潔凈室≥0.25m/s水平平行流（層流）潔凈室≥0.35m/s。
更新時間：2019-06-24
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